微機電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)業(yè)集中了當今科學技術(shù)發(fā)展的許多尖端成果，涉及多種學科和工程技術(shù)，具有體積小、重量輕、功耗低、價格低、集成度高、可批量制造等優(yōu)點。在生活當中，MEMS傳感器已經(jīng)在智能手機、智能家居、汽車中廣泛應(yīng)用，例如手機上的硅麥克風、慣性傳感器、電子羅盤、高度計等，汽車上的溫度、壓力、位置、轉(zhuǎn)速、加速度和振動等傳感器件。隨著物聯(lián)網(wǎng)、智能家居、人工智能、智慧醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，MEMS傳感器產(chǎn)品作為智能感知時代的重要硬件基礎(chǔ)，前景無限。今年，國家工業(yè)和信息化部下發(fā)意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標志性。
【MEMS器件陣列（如圖，中央的正方體組件）】
【智能手機簡化示意圖】
據(jù)統(tǒng)計，2016年MEMS市場規(guī)模約114億美元，其中，國內(nèi)需求規(guī)模約42億美元，占比36.8%。目前，國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈總體偏弱，尤其是制造環(huán)節(jié)，而且國內(nèi)MEMS產(chǎn)品門類依然相對較少，主要還是以慣性器件和壓力傳感器為主，且多是中低端產(chǎn)品，創(chuàng)新性強的新器件、新系統(tǒng)鮮有出現(xiàn)，導致市場存在著巨大的供需矛盾，大部分需求只能依賴于進口。為了更深入的了解國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展狀況，近日，今日智造的記者走訪了華東MEMS集群地，也是全球最大的納米技術(shù)應(yīng)用綜合社區(qū)——蘇州納米城，采訪了蘇州納米城開發(fā)實體蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長兼總裁張希軍。
采訪中張總告訴記者，蘇州納米城MEMS產(chǎn)業(yè)鏈體系的構(gòu)建，是站在整個產(chǎn)業(yè)格局立場，立足行業(yè)發(fā)展，根據(jù)自身資源、結(jié)合國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展狀況做了一系列舉措，為MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的土壤，以促進MEMS產(chǎn)業(yè)資源集聚和發(fā)展。
那么，蘇州納米城MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的搭建是從哪些方面切實解決行業(yè)內(nèi)存在的諸多問題呢？
【建立中試平臺】
國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)最薄弱的環(huán)節(jié)在生產(chǎn)制造，而產(chǎn)品從實驗室走向市場化過程中，研發(fā)與批量化之間缺乏銜接。為此，蘇州納米城早在成立之初就建成了國內(nèi)首個全開放、市場化運作的MEMS加工平臺，填補了產(chǎn)品概念驗證與規(guī)模代工廠之間的中試空白，平臺完全按照foundry模式建立，體系化管理，從根本上解決了中小MEMS設(shè)計企業(yè)產(chǎn)品化上的最大難題。
經(jīng)過近4年的深耕，平臺具備了完整的工藝庫及各種器件工藝匹配能力。截止目前，已服客戶近30家，累計支撐客戶完成近85顆MEMS芯片開發(fā)生產(chǎn)，涉足領(lǐng)域廣泛，不僅有市場化程度很高的消費類及汽車電子產(chǎn)品，例如硅麥克風、壓力、氣體、溫度、流量計等，也有代表前沿技術(shù)或是具備市場增長潛質(zhì)的工業(yè)類及通訊類產(chǎn)品，例如微鏡、噴墨頭、非制冷紅外、氣體、RF-MEMS等。同時，平臺在較短時間內(nèi)實現(xiàn)了多個硅麥克風及微鏡項目量產(chǎn)，助力客戶將產(chǎn)品快速打入市場的同時，也為平臺的良好發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。至2017年11月平臺月產(chǎn)已突破千片規(guī)模，成為國內(nèi)最快實現(xiàn)此指標的MEMS代工企業(yè)之一，后續(xù)平臺將把穩(wěn)定交付作為發(fā)展的重心。
【成立行業(yè)協(xié)會】
為了更好的推動中國MEMS產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，創(chuàng)建企業(yè)展示自身發(fā)展的科技平臺，蘇州納米與國內(nèi)40多家MEMS行業(yè)龍頭企業(yè)、頂級科研院所、知名高校共同成立“中國半導體行業(yè)協(xié)會MEMS分會”。協(xié)會旨在構(gòu)建MEMS設(shè)計、研發(fā)、加工制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動關(guān)系，實現(xiàn)以MEMS產(chǎn)品為主線的產(chǎn)業(yè)資源垂直整合，推動我國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的人才集聚、技術(shù)創(chuàng)新、成果轉(zhuǎn)化。協(xié)會發(fā)展至今已匯聚產(chǎn)業(yè)鏈上、下游會員單位逾350家。
MEMS分會成立三年以來從事了一系列全國性產(chǎn)業(yè)扶持工作，帶動了和推動了全國產(chǎn)業(yè)發(fā)展。MEMS分會配合工信部連續(xù)多年從事MEMS行業(yè)職業(yè)技術(shù)培訓，培訓總計超過500人次，為行業(yè)輸送了大量二次培育的專精人才，具備MEMS培訓工作基礎(chǔ)及一定的學員基礎(chǔ)。自MEMS分會成立以來，積極開展多層次的技術(shù)和市場的交流合作，對國內(nèi)各省市地區(qū)MEMS企業(yè)詳細梳理，收集整理年度產(chǎn)值數(shù)據(jù)，完成多份產(chǎn)業(yè)報告并舉辦多場全國性論壇并參與行業(yè)展覽，不斷增加協(xié)會粘性。
【產(chǎn)業(yè)專利導航】
深耕細作MEMS產(chǎn)業(yè)專利導航，協(xié)助開展區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃，推動專利優(yōu)勢轉(zhuǎn)化成為產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢。蘇州納米城順利創(chuàng)建全國MEMS產(chǎn)業(yè)專利導航綜合服務(wù)平臺，以MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域為突破口，推動MEMS專利分析和預(yù)警研究，為企業(yè)提供MEMS專利檢索分析等綜合服務(wù)，開展MEMS產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)、關(guān)鍵環(huán)節(jié)專利收儲，為5家重點MEMS企業(yè)實施專利微導航項目。協(xié)助完成《蘇州工業(yè)園區(qū)專利導航納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)(MEMS方向)創(chuàng)新發(fā)展規(guī)劃》，積極促成《蘇州工業(yè)園區(qū)關(guān)于促進微納電子機械系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展實施細則（試行）》政策的出臺，讓中小MEMS企業(yè)享受更多的政策紅利。
【引進人才培訓體系】
人才發(fā)展推動企業(yè)發(fā)展，產(chǎn)業(yè)交流依托技術(shù)創(chuàng)新。蘇州納米從市場發(fā)展需求出發(fā)，引進“人才培訓體系”，聚焦MEMS產(chǎn)業(yè)需求，面向全國組織產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才培訓、組織高端創(chuàng)新資源交流論壇，吸引了包括園區(qū)在內(nèi)多地企業(yè)、機構(gòu)人員參加，累計達1000人次。針對國內(nèi)高校與產(chǎn)業(yè)存在的脫節(jié)問題，對口培養(yǎng)實用型人才，提高技術(shù)人員的實操能力，以努力達到產(chǎn)業(yè)要求，確保行業(yè)競爭力。
蘇州納米城，作為拓展國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的先行者，為推動國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展不余遺力。目前區(qū)域內(nèi)MEMS企業(yè)已超過30家，涵蓋了設(shè)計、制造、封裝、應(yīng)用整個產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，今日智造記者相信，隨著蘇州納米城的壯大和發(fā)展，將為中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出更大的貢獻，有蘇州納米城這樣的平臺體系支撐，本土MEMS企業(yè)將櫛風沐雨，砥礪前行，共同創(chuàng)造中國MEMS產(chǎn)業(yè)的大未來！
